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来自浙江理工大学-范嘉荣发布于:2022-08-15 10:55:43

7.1  金华紫芯片科技有限公司

学习了解一种石墨烯非晶氧化镓薄膜的日盲紫外探测器

这是一种石墨烯非晶氧化镓薄膜的日盲紫外探测器及其制备方法,可实现对波长小于280nm的日盲紫外光的有效探测,广泛应用于杀菌消毒紫外线监测、高压电弧紫外线监测以及电气火灾紫外线监测等领域。探测器以聚酰亚胺薄膜为衬底,通过激光诱导在衬底上原位制备石墨烯电极,然后通过磁控溅射法在石墨烯电极上方沉积一层非晶氧化镓薄膜,作为光探测材料,最后将衬底集成在PCB电路板上,其中,石墨烯电极嵌入于聚酰亚胺薄膜衬底中,与衬底结合紧密;非晶氧化镓薄膜位于石墨烯电极上方,石墨烯电极形状可以任意设计,并通过激光诱导原位生成,不需要掩膜版、光刻、刻蚀等复杂工艺,工艺简单,成本低,适合大规模量产。

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