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芯片
来自
佛山大学-冼其慧
发布于：2026-02-27 23:06:16
深圳坪山产业园，国产28nm DUV光刻机正紧张调试下线。数据显示，这一设备已通过多家头部晶圆厂的可靠性验证，配套的刻蚀、薄膜沉积等辅机国产化率均超80%。
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来自
佛山大学-冼其慧
发布于：2026-02-27 23:06:24
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佛山大学-陈梓豪
发布于：2026-02-28 15:42:49
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佛山大学-周科霞
发布于：2026-02-28 21:22:00
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